Программа профессионального модуля «особенности многоуровневой металлизации убис с медными межсоединениями. Damascene технология»

СОДЕРЖАНИЕ

1. 
   Способность использовать результаты освоения фундаментальных и прикладных дисциплин ООП магистратуры;
   
2. 
   Способность демонстрировать навыки работы в научном коллективе, порождать новые идеи (креативность).
   
3. 
   Способность понимать основные проблемы в своей предметной области, выбирать методы и средства их решения;
   
4. 
   Способность самостоятельно приобретать и использовать в практической деятельности новые знания и умения, в том числе в новых областях знаний, непосредственно не связанных со сферой деятельности;
   
5. 
   Готовность оформлять, представлять и докладывать результаты выполненной работы.
   
6. 
   Способность анализировать состояние научно-технической проблемы путем подбора, изучения и анализа литературных и патентных источников;
   
7. 
   Способность делать научно-обоснованные выводы по результатам теоретических и экспериментальных исследований, давать рекомендации по усовершенствованию устройств и систем, готовить научные публикации и заявки на изобретения;
   
8. 
   Знание основ физики современных полупроводниковых приборов и твердотельной электроники с наноразмерными топологическими нормами;
   
9. 
   Знание физических и химических принципов, лежащих в основе базовых технологических операций создания СБИС с топологическими нормами до 90 нм и базовых технологических маршрутов;
   
10. 
    Знание основных современных методов и технологий создания и исследования наноструктур интегральной электроники;
    
11. 
    Владение базовыми знаниями в области материалов и методов объемной и поверхностной обработки функциональных слоев интегральной наноэлектроники;
    
12. 
    Знание базовых маршрутов создание СБИС с топологическими нормами до 90 нм;
    
13. 
    Знание основных аналитических методов исследования физико-химических свойств поверхности, морфологии и геометрии интегральных наноструктур при создании СБИС с топологическими нормами 90 нм;
    
14. 
    Знание основных принципов построения, функционирования технологического и аналитического оборудования, используемого при изготовлении СБИС по технологическим нормам 90 нм;
    
15. 
    Знание принципов разработки технологических маршрутов и процессов изготовления СБИС по технологическим нормам 90 нм;
    
16. 
    Умение применять современные и экспериментальные методы анализа физических и химических свойств наноструктур и наноматериалов, исследования параметров и характеристик формируемых приборов и устройств.