 Документ предоставлен КонсультантПлюс
Утвержден и введен в действие
Приказом Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологии
от 24 октября 2014 г. N 1406-ст
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ
ЧАСТЬ 8
КЛАССИФИКАЦИЯ
ЧИСТОТЫ ВОЗДУХА ПО КОНЦЕНТРАЦИИ ХИМИЧЕСКИХ ЗАГРЯЗНЕНИЙ
Cleanrooms and associated controlled environments. Part 8.
Classification of air cleanliness by chemical concentration
ISO 14644-8:2013
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8:
Classification of air cleanliness by chemical concentration
(IDT)
ГОСТ Р ИСО 14644-8-2014
ОКС 13.040.01
19.020
ОКП 63 1000
94 1000
Дата введения
1 декабря 2015 года
Предисловие
1. Подготовлен Общероссийской общественной организацией "Ассоциация инженеров по контролю микрозагрязнений" (АСИНКОМ) на основе собственного аутентичного перевода на русский язык стандарта, указанного в пункте 4, при участии Открытого акционерного общества "Научно-исследовательский центр контроля и диагностики технических систем (АО "НИЦ КД").
2. Внесен Техническим комитетом по стандартизации ТК 184 "Обеспечение промышленной чистоты".
КонсультантПлюс: примечание.
В официальном тексте документа, видимо, допущена опечатка: стандарт утвержден Приказом Росстандарта N 1406-ст от 24.10.2014, а не от 14.10.2014.
3. Утвержден и введен в действие Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 14 октября 2014 г. N 1406-ст.
4. Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 14644-8:2013 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 8. Классификация чистоты воздуха по концентрации химических загрязнений" (ISO 14644-8:2013 "Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration").
При применении настоящего стандарта рекомендуется использовать вместо ссылочных международных стандартов соответствующие им национальные стандарты Российской Федерации, сведения о которых приведены в дополнительном Приложении ДА.
5. Взамен ГОСТ Р ИСО 14644-8-2008.
Правила применения настоящего стандарта установлены в ГОСТ Р 1.0-2012 (раздел 8). Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе "Национальные стандарты", а официальный текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске информационного указателя "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (gost.ru).
Введение
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды обеспечивают контроль загрязнения воздуха аэрозольными частицами в целях поддержания допустимого уровня загрязнений в чувствительных к ним процессах. Продукты и процессы, требующие защиты от загрязнений, применяются в космической, электронной, фармацевтической, медицинской, пищевой и других отраслях промышленности.
В ряде случаев продукция или процесс может быть чувствителен (вплоть до разрушения) к содержащимся в воздухе химическим загрязнениям, источником которых могут быть наружный воздух, сам процесс и прочие факторы.
Настоящий стандарт рассматривает химические загрязнения в воздухе. В формировании химических загрязнений можно выделить три этапа. Первый этап - это выделение загрязнений внешними источниками, такими как сам процесс (утечки), строительные материалы или персонал. Второй этап - перенос химических загрязнений. Третий этап - оседание загрязнений на чувствительную поверхность, когда можно количественно определить загрязнение поверхности химическими веществами.
На уровень химических загрязнений также влияют исходные материалы и поверхности, на которые оседают эти загрязнения.
Настоящий стандарт устанавливает классификацию ИСО чистоты воздуха по концентрации химических загрязнений (ACC) для чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред, в которых этот вид загрязнений может представлять опасность для процесса или продукта.
Для целей классификации настоящий стандарт устанавливает пределы загрязнений химическими веществами с учетом их состава и методы испытаний с учетом фактора времени.
Стандарт содержит справочные Приложения, относящиеся к:
- характеристике загрязнений (Приложение A);
- описанию типичных загрязнений (Приложение B);
- типовым методам испытаний (Приложение C);
- специальным требованиям, относящимся к изолирующим устройствам (Приложение D).
Настоящий стандарт входит в комплекс стандартов ИСО 14644 по чистым помещениям и контролю загрязнений. При проектировании чистых помещений, выборе оборудования, эксплуатации и контроле параметров чистых помещений следует учитывать и другие факторы, кроме химических загрязнений.
Международный стандарт ИСО 14644-8 подготовлен Техническим комитетом ИСО/ТК 209 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды".
Комплекс международных стандартов ИСО 14644 состоит из следующих частей:
- часть 1. Классификация чистоты воздуха;
- часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ИСО 14644-1;
- часть 3. Методы испытаний;
- часть 4. Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию;
- часть 5. Эксплуатация;
- часть 6. Термины;
- часть 7. Изолирующие устройства (укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения);
- часть 8. Классификация чистоты воздуха по концентрации химических загрязнений;
- часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц;
- часть 10. Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических загрязнений.
1. Область применения
Настоящий стандарт устанавливает классификацию чистоты воздуха по концентрации химических загрязнений (ACC) для чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред с учетом их химического состава, методов испытаний и анализа с учетом фактора времени.
Стандарт рассматривает концентрации химических загрязнений в воздухе в пределах от 100 до 10-12 г/м3.
Стандарт не предназначен для применения в случаях, когда химические загрязнения в воздухе не представляют опасности для продукции или процесса.
Настоящий стандарт не содержит описание природы химических загрязнений и не устанавливает классификацию чистоты поверхностей по концентрации химических загрязнений.
2. Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ИСО 14644-6 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Термины и определения (ISO 14644-6 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 6: Vocabulary).
Для датированных ссылок применяют только версию, приведенную в тексте. Для недатированных ссылок необходимо использовать последнее издание документа (включая любые поправки).
3. Термины и определения
В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями:
3.1. Общие термины
3.1.1. Химические загрязнения (chemical contamination): вещества (не частицы), которые могут оказать отрицательное влияние на продукт, процесс или оборудование.
3.1.2. Чистота воздуха по концентрации химических загрязнений; ACC (air cleanliness by chemical concentration; ACC): уровень, выраженный как ИСО класс N, равный максимально допустимой концентрации данного химического загрязнения или группы загрязнений, выраженной в граммах на кубический метр (г/м3).
Примечание. Это определение не включает макромолекулы биологического происхождения, рассматриваемые как частицы.
3.1.3. Химические загрязнения воздуха (air chemical contamination): любое вещество в воздухе, которое может химическим путем негативно воздействовать на продукт, процесс или оборудование.
3.1.4. Чистота поверхности по концентрации химических загрязнений; SCC (surface cleanliness by chemical concentration, SCC): чистота поверхности, характеризуемая концентрацией химических загрязнений на ней.
3.1.5. Химическое загрязнение поверхности (surface chemical contamination): любое вещество на поверхности, которое может химическим путем негативно воздействовать на продукт, процесс или оборудование.
3.1.6. Вид загрязнения (contaminant category): общее наименование группы загрязнений, которые оказывают специфическое или отрицательное воздействие при оседании их на поверхность.
3.1.7. Выделение (outgassing): выделение материалом газов или паров.
3.1.8. Класс чистоты воздуха по концентрации химических загрязнений (air cleanliness by chemical concentration class): классификационное число, соответствующее максимально допустимой концентрации химического загрязнения или группы загрязнений в г/м3.
Примечания
1. Максимально допустимые концентрации определяют по таблице 1 или вычисляют по формуле для N, приведенной в 4.2.
2. Классификация согласно настоящему стандарту ограничена диапазоном от 0 (класс с наименьшим допустимым уровнем чистоты) до -12 (класс с самым высоким установленным уровнем чистоты).
3. ACC-класс имеет силу только вместе со специальным ACC-обозначением, которое указывает, относительно какого химического загрязнения или группы загрязнений данный ACC-класс определен.
4. Отрицательный знак перед числом класса чистоты воздуха по концентрации химических загрязнений (от -1 до -12) обозначает интегральную часть ACC-класса N и должен быть указан всегда. Обозначение ACC-класса N без отрицательного знака перед ним не допускается (за исключением класса 0).
5. Промежуточные классы ИСО могут быть заданы с минимальным допустимым приращением 0,1.
3.2. Виды загрязнений
3.2.1. Кислота (acid): вещество, которое при химической реакции образует новое соединение, выступая акцептором электронных пар.
3.2.2. Основание (base): вещество, которое при химической реакции образует новое соединение, выступая донором электронных пар.
3.2.3. Биотоксин (biotoxic): загрязняющее вещество, которое оказывает неблагоприятное воздействие на развитие и жизнедеятельность организмов, микроорганизмов, тканей или отдельных клеток.
3.2.4. Конденсирующееся загрязнение (condensable): вещество, которое может оседать на поверхности в чистом помещении в эксплуатируемом состоянии путем конденсации.
3.2.5. Коррозионно-опасное загрязнение (corrosive): вещество, оказывающее разрушающее химическое воздействие на поверхность.
3.2.6. Примесь (dopant): вещество, которое после осаждения и/или диффузии проникает в материал продукта и способно изменить свойства материала, даже если оно присутствует в виде следов (в малых количествах).
3.2.7. Органическое загрязнение (organic): вид загрязнения на основе углеродсодержащих соединений.
3.2.8. Окислитель (oxidant): вещество, которое после осаждения на поверхность или продукт приводит к образованию оксидов или участвует в реакции окисления.
4. Классификация
4.1. Общие положения
Для целей классификации молекулярных загрязнений используется обозначение по 4.2. Данное обозначение включает в себя аббревиатуру "ИСО-ACC" и задает максимально допустимую концентрацию химических загрязнений в воздухе для данного вида загрязнений, отдельного вещества или группы веществ.
4.2. Обозначение при классификации молекулярных загрязнений (ИСО-AMC)
ACC-класс имеет силу только в сочетании со специальным ACC-обозначением, которое указывает, относительно какого химического загрязнения или группы загрязнений данный ACC-класс определен. Обозначение дается в следующей форме:
Класс ИСО-ACC N (X),
где X - химическое загрязнение или группа загрязнений, к которым относятся по крайней мере:
- кислоты (ac);
- основания (ba);
- биотоксины (bt);
- конденсирующиеся загрязнения (cd);
- коррозионно-опасные загрязнения (cr);
- примеси (dp);
- органические загрязнения (or);
- оксиды (ox);
- загрязнение несколькими веществами или отдельным веществом.
N - класс ИСО-ACC, представляющий собой десятичный логарифм концентрации загрязнения cx, г/м3, и находящийся в пределах от 0 до -12.
N = log10[cx].
Промежуточные классы могут быть заданы с шагом 0,1.
Примеры
1. Для образца N-метилпирролидона (NMP) измеренное значение его концентрации (загрязнение) составило 8·10-7 г/м3 < 10-6. Концентрация соответствует пределу класса -6, который составляет 10-6 г/м3. Данному случаю соответствует обозначение "ИСО-ACC класс -6 (NMP)".
2. Для образца органического соединения измеренное значение составило 6·10-5 г/м3 по общему органическому углероду (TOC). Оно соответствует классу -4 с пределом класса 10-4 г/м3. Обозначение: "ИСО-ACC класс -4 (TOC)".
Зависимость классов ИСО-ACC от концентрации загрязнений приведена в таблице 1 и на рисунке 1.
Таблица 1
Классификация по ИСО-ACC
ИСО-ACC класс
|
Концентрация загрязнений
|
Концентрация загрязнений
|
Концентрация загрязнений
|
г/м3
|
мкг/м3
|
нг/м3
|
0
|
100
|
106 (1000000)
|
109 (1000000000)
|
-1
|
10-1
|
105 (100000)
|
108 (100000000)
|
-2
|
10-2
|
104 (10000)
|
107 (10000000)
|
-3
|
10-3
|
103 (1000)
|
106 (1000000)
|
-4
|
10-4
|
102 (100)
|
105 (100000)
|
-5
|
10-5
|
101 (10)
|
104 (10000)
|
-6
|
10-6
|
100 (1)
|
103 (1000)
|
-7
|
10-7
|
10-1 (0,1)
|
102 (100)
|
-8
|
10-8
|
10-2 (0,01)
|
101 (10)
|
-9
|
10-9
|
10-3 (0,001)
|
100 (1)
|
-10
|
10-10
|
10-4 (0,0001)
|
10-1 (0,1)
|
-11
|
10-11
|
10-5 (0,00001)
|
10-2 (0,01)
|
-12
|
10-12
|
10-6 (0,000001)
|
10-3 (0,001)
|
|
