В рамках выполнения программы по созданию контрактного производства элементов лазерной техники, в дополнение к ранее приобретенному оборудованию, закупается аналогичное вакуумное технологическое напылительное оборудование «Ortus 700»

Скачать 123.86 Kb.

Название

Тип

Техническое задание

rykovodstvo.ru > Руководство эксплуатация > Техническое задание

ТЕХНИЧЕСКОЕ ЗАДАНИЕ

«Вакуумная установка для нанесения покрытий методом электронно-лучевого

испарения с ионным ассистированием Ortus 700»
В рамках выполнения программы по созданию контрактного производства элементов лазерной техники, в дополнение к ранее приобретенному оборудованию, закупается аналогичное вакуумное технологическое напылительное оборудование «Ortus 700». На имеющемся у заказчика оборудовании той же марки отработаны технологии нанесения покрытий с высокими качественными характеристиками, разработаны и изготовлены необходимые технологические оснастки, персонал прошел обучение. При закупке оборудования существует прямая необходимость обеспечения взаимодействия вновь закупаемого оборудования с уже существующей технологической линией ввиду унификации и повторяемости существующих технологических процессов, а также с целью унификации обслуживания, в связи с этим эквиваленты оборудования не допустимы.

№ п./п	Наименование	Требований к установке в целом, функциональным подсистемам и единицам комплектации Техническая спецификация, - технические характеристики, параметры и описание;
	Вакуумная установка для напыления оптических покрытий
	Наименование оборудования	Вакуумная установка электронно-лучевого испарения Ortus 700 для нанесения покрытий методом электронно-лучевого испарения с ионной очисткой и ионно-лучевым ассистированием.
	Общие сведения	Вакуумная установка электронно-лучевого испарения серии ORTUS, модель ORTUS 700 должна состоять из вакуумного поста и одной стойки управления. Высоковакуумная откачка должна быть реализована на базе криогенного насоса и безмаслянного форвакуумного насоса, что гарантирует получение чистого вакуума. Установка должна быть оснащена современными электронно-лучевыми испарителями с медными водоохлаждаемыми тиглями, источником ионной очистки и ассистирования с компенсацией заряда, системами кварцевого и оптического контроля, системой нагрева подложек. Дополнительно в комплектацию должна входить автономная система рециркуляции воды с поддержанием температуры, что исключает необходимость в подключении оборудования к цеховой системе водоснабжения, а также повышает независимость и стабильность работы вакуумной установки. Необходимо использовать верхний привод вращения арматуры. Контроль всех режимов работы установки, включая обращение к файлам прошлых процессов, контроль функционирования отдельных узлов и подсистем должны осуществляться с единого пульта оператора. Все показатели работы выводятся на жидкокристаллический монитор. Установка должна обладать следующими достоинствами и преимуществами: Наличие полной автоматизации. Возможность применения метода ионного ассистирования для повышения качества покрытий, а также возможность осуществлять безнагревное нанесение покрытий, например, на полимеры и нетермостойкие оптические кристаллы. Наличие ионного источника ассистирования. Наличие встроенных систем кварцевого и оптического контроля толщины и скорости напыления с информативным отображением результатов. Наличие автоматического управления откачкой и технологическими операциями на основе промышленных компьютеров и контроллеров. Наличие редакторов техпроцессов и пакетов стандартных напылительных технологий в составе ПО собственной разработки компании Изовак. Гибкая внутрикамерная компоновка технологических устройств должна позволять реализовывать различные методы нанесения пленок, а также ионное ассистирование в процессе нанесения покрытий. Высокая точность нанесения должна обеспечиваться применением совместно оптического и кварцевого контроля. Установка должна состоять из следующих основных модулей: Система вакуумная. Система электронно-лучевого испарения (ЭЛИ). Система ионного ассистирования. Система контроля покрытий. Система нагрева. Система пневматическая. Система охлаждения. Система газовая. Система управления. Система электрическая. Система перемещения подложек. Оснастка внутрикамерная. ЗИП, комлпект. Питание установки должно производиться от трехфазной электросети 380В, 50Гц. Максимальная потребляемая мощность установки не должна превышать 35 кВт; а общая масса установки не должна превышать 2000 кг.
1	Система вакуумная	Вакуумная система должна обеспечивать предельное остаточное давление в чистой камере без оснастки не хуже 1 х10^-4 Па. Расположение высоковакуумного насоса должно быть вертикальным. Система должна предусматривать наличие плавного напуска в вакуумную камеру. Затвор вакуумный с пневматическим приводом ISO320. Соединение элементов форвакуумной линии – KF и ISO типа. Камера вакуумная: Материал вакуумной камеры: нержавеющая сталь. Форма вакуумной камеры: цилиндрическая. Камера должна иметь комплект внутрикамерных съемных листовых экранов для защиты от запыления. Привод держателя подложек должен быть расположен на верхней плите камеры. Дверь камеры: должна открываться вручную в противоположную сторону от стойки управления; должна иметь один иллюминатор; Иллюминатор: Должен иметь два стекла (с содержанием свинца и сталинит); Должен иметь заслонку от запыления и дополнительное защитное стекло. Каркас вакуумной камеры должен быть изготовлен из стального профиля. Каркас и вакуумная камера должны быть закрыты декоративными легкосъемными панелями. Панели должны быть окрашены, цвет: серый. Панели должны иметь электрическую блокировку. Каркас должен иметь регулируемые опоры. Колеса для перемещения отсутствуют.
2	Система ЭЛИ	Необходимы два электронно-лучевых испарителя (Ferrotec) со следующими характеристиками: максимальная мощность – 8 кВт ускоряющее напряжение – 4-10 кВ максимальный ток катода – 50 А максимальный ток эмиссии – до 1 А угол разворота луча – 270 размер пятна – сфокусированный 5 мм ЭЛИ должен иметь медный водоохлаждаемый тигель на 8 позиций (по согласованию может быть заменен либо приобретен дополнительно от 1 до 12 позиций) Вращение тиглей - дискретное и непрерывное Электронная система сканирования луча SWEEP-контроллер по X и Y ЭЛИ должен иметь управляемую заслонку. Управление должно осуществляться как с пульта, так и от компьютера в ручном и автоматическом режиме. БП Carrera максимальной мощности 6кВт.
3	Система откачки	Система откачки должна обеспечивать время откачки рабочей камеры от атмосферного до рабочего давления не выше 8·10^-4 атм за время не более 40 мин. Система откачки должна обеспечивать предельное остаточное давление в чистой камере без оснастки не хуже 1·10^-4 атм; Система откачки должна включать: 1. Насос криогенный 2. Форвакуумный безмасляный насос GV-80. 3. Высоковакуумный затвор Изовак между вакуумной камерой и криогенным насосом 4. Вакуумный датчик широкого диапазона измерений PKR 251 PTR 26 000 (Pfeiffer), работающий при давлении от атмосферного до 10^-7 атм; 5. Вакуумный датчик типа “Pirani” TPR 280 PTR 26 950 (Pfeiffer) для линии форвакуума;
4	Система перемещения подложек.	Система перемещения подложек должна включать: Быстросъемный куполообразный держатель образцов диаметром 670 мм; Быстросъемный планетарный держатель образцов с тремя сателлитами диаметром 278 мм каждая; Механизм непрерывного и шагового перемещения с регулировкой скорости вращения в пределах 5 – 30 об/мин; Обеспечивает неравномерность по толщине напыляемого слоя по всей поверхности куполообразного подложкодержателя не более ± 2,5 %; Обеспечивает неравномерность по толщине напыляемого слоя по всей поверхности планетарного подложкодержателя не более ± 1,5 %;
5	Система нагрева подложек	Система нагрева подложек должна включать в себя нагревательные элементы типа ТЭН производства Изовак, и регуляторы мощности нагрева (SIPIN), обеспечивающие максимальную температуру нагрева образца не менее 350ºС. Система нагрева должна иметь возможность контроля, регулировки и поддержания температуры во время процесса напыления при помощи термопары. Контролируемый диапазон температуры прогрева рабочего объема камеры в зоне подколпачной арматуры – 50-350 ºС
6	Система контроля толщины и скорости осаждения	Система контроля толщины и скорости напыления должна включать в себя: 1. Водоохлаждаемый кварцевый датчик не менее 4 шт; 2. Контроллер SQM-160 (Inficon) кварцевого датчика (резонатора) совместимый с ПК; 3. Совмещенный узел перемещения кварцевых таблеток (4 шт) и свидетелей оптического контроля (8 шт).
7	Система очистки подложек и ионного ассистирования.
7.1.	Общие требования	Система очистки и ионного ассистирования предназначена для очистки поверхности подложек перед проведением процесса напыления и ионного ассистирования при нанесении покрытия, должна включать в себя: 1. Ионный источник Стрелок-2 (Изовак) 2. Блок питания ионного источника IPS-А3K (Изовак); 3. Заслонку с пневматическим приводом; 4. Цифровой контроллер расхода газа.
7.2.	Ионный источник	Ионный источник Стрелок-2 (Изовак) обеспечивает следующие параметры: Энергия пучка: изменяется в диапазоне 25-180 эВ; Ток пучка: до 1А; Ток анода: до 5А; Угол расхождения пучка: 60º; Расход газа (аргона): до 40 см³/мин;
8	Система оптического контроля	Система одноволнового оптического контроля должна обеспечивать контроль процесса напыления покрытий в режиме на пропускание и отражение на выбранной длине волны в диапазоне от 200 до2600 нм. Система должна быть оснащена возможностью измерения спектров пропускания и отражения покрытий на свидетеле во всем диапазоне спектра. Способ ввода излучения в монохроматор – световодный, что позволяет разместить его в произвольное место под вакуумной камерой. Система должна обеспечивать автоматическую смену дифракционных решеток, фотодетекторов и фильтров разделения порядков во всем диапазоне спектра. Разрешающая способность монохроматора системы оптического контроля должна быть не хуже 1.5 нм в диапазоне 380-1100нм и 3 нм в диапазоне 1100-2600нм Соотношение сигнал/шум в режиме контроля на выбранной длине волны не хуже 0.1% во всем диапазоне спектра. Уровень рассеяного света монохроматора не хуже 0.1% во всем диапазоне спектра. Источник света для диапазона длин волн 200-380 нм – дейтериевая лампа. Источник света для диапазона длин волн 380-2600 нм – галогеновая лампа. Частота модуляции света - 170±10 Гц. Программное обеспечение системы оптического контроля должно позволять сохранять и загружать в рабочую область измеренные спектры пропускания и отражения покрытий, а также тренды напылений на выбранной длине волны. Спектры и тренды могут быть извлечены для последующей обработки в виде текстовых файлов с данными.
9	Система подачи газов	Система подачи газов должна включать в себя три цифровых регулятора расхода газа (кислород/аргон) производства Pneucleus Tech. LLC для подачи рабочего газа в вакуумную камеру (расход газа до 40 см³/мин);
10	Пневматическая система	Пневматическая система установки должна обеспечивать работу вакуумных шиберов и заслонок от внешнего источника сжатого воздуха и включает в себя: Пневмоостров производства SMC для работы при давлении 6-8 Атм; Манометр с редуктором производства SMC для регулировки давления;
11	Гидравлическая система	Гидравлическая система для охлаждения установки напыления и ее компонентов проточной водой должна включать в себя: 1. Два коллектора, рассчитанных на работу при давлении воды 3-6 атм, с клапанами (SMC) и с датчиками расхода жидкости (TOKYO KEISO) в линиях испарителей; 2. Теплообменник (чиллер) производства SMC или аналогичный с возможностью охлаждения хладоагента до температуры 15-18 ºС. Поток жидкости не менее 20 л/мин при давлении не менее 2 атм;
12	Система управления, контроля и сохранения параметров технологического процесса
12.1	Общие требования	Система управления, контроля и сохранения параметров технологического процесса должна иметь графический интерфейс и выполнять следующие основные функции: - Управление профилями пользователей с раздельным доступом и ограничениями функций; - Графическое отображение всех основных узлов установки в виде таблиц и анимированных рисунков, включая отображение параметров процесса, положения заслонок, температуры процесса; на пяти отдельных программных экранах-закладках с графическими отображениями элементов следующих систем: Вакуумной; Газовой; Напыления; Движения; Охлаждения; - Иметь систему блокировок и предупреждений; - Иметь интегрированную систему для записи, редактирования и автоматического выполнения рецептов; - Иметь систему мониторинга и графического отображения в реальном времени показаний кварцевого датчика (измерения толщины осаждаемого покрытия); Система управления, контроля и сохранения параметров технологического процесса должна обеспечивать: Возможность работы в ручном, полуавтоматическом и автоматическом режиме по рецептам; Возможность сохранения и экспорта истории параметров и рецептов;
12.2	Рабочая станция оператора	Система управления и контроля должна включать рабочую станцию оператора с параметрами: 1. Процессор Intel Pentium Dual Core с тактовой частотой не менее 2 ГГц; 2. Оперативную память объемом не менее 512 Мбайт; 3. Жесткий диск объемом не менее 80 Гбайт; 4. Встроенную видеокарту; 5. Не менее одного порта стандарта USB; 6. Установленное лицензионное ПО типа Windows 7; 7. Монитор с диагональю не менее 23"; 8. Клавиатуру с манипулятором типа “мышь”;
13	Блок распределения электропитания	Блок распределения электропитания разработки Изовак должен обеспечивать подключение установки к силовой сети и распределение электропитания между блоками установки. Блок распределения должен иметь источник бесперебойного питания для ПК; кнопку EMO защитного отключения установки. Блок распределения электропитания должен иметь механический замок для ограничения доступа к основному выключателю электропитания.

Указанная стоимость включает:

• Производство Товара.

• Доставку Товара.

• Монтаж и сдачу в эксплуатацию Товара на территории Заказчика.

• Инструктаж 2-х специалистов Заказчика правилам эксплуатации и обслуживания оборудования.

• Сопровождение эксплуатации оборудования Заказчиком в течение 2-х рабочих дней после подписания акта сдачи-приемки на территории Заказчика.

Срок поставки товара – согласно Календарному плану (Приложение №3 к настоящему Договору) выполнения работ по поставке установки Ortus 700.

Место поставки товара – г. Москва, ул. Введенского, д. 3, корп. 1

Поставляемое оборудование новое (не бывшее в эксплуатации) и изготовлено не позднее 2016 года.
Приемка оборудования:

Приемка оборудования производится на основании программы испытаний, согласованной и утвержденной Сторонами.
Срок и объем гарантии:

Срок гарантии - 18 месяцев от даты подписания Акта о выполнении обязательств по Договору.

Гарантия распространяется на весь Товар. Поставщик обеспечивает восстановление работоспособности Товара в гарантийные период без дополнительных расходов со стороны Заказчика при условии соблюдения Заказчиком условий эксплуатации, установленных Производителем установки.
Документальное сопровождение:

Оборудование обеспечено комплектом документации, включающим инструкции по эксплуатации и другую документацию, поставляемую фирмой-производителем, в том числе гарантийные обязательства, копии необходимых сертификатов, паспорта на оборудование и пр.

Заказчик:

_______________

М.П.

Поставщик:

_________________

М.П.

	Технология производства сахара из сахарной свеклы Типовые технологические схемы разрабатываются на основе современных достижений науки и техники при условии получения вырабатываемого...		Фронтальный погрузчик mega 200-V Эти улучшения могут вводиться в любое время без обязательств замены материалов в ранее проданных товарах. Рекомендуется, чтобы покупатели...
	Методические рекомендации и контрольные задания по дисциплине «Технологическое... «Электротехника», «Процессы и аппараты» и т д. В то же время предмет тесно связан с такими дисциплинами, как «Технология хлебопекарного...		Книга Такаши Накамуры замечательное дополнение к ранее вышедшим книгам «Софии» Книга Такаши Накамуры — замечательное дополнение к ранее вышедшим книгам «Софии» по Цигун, Тайцзи-цюань, До-ин и Пра-наяме
	Техническое задание №43-40-2017 на поставку оборудования для лазерной... «Лазерный комплекс «FMark-50ns fb» (ТМ)» (далее – Оборудование) производства компании «Центр Лазерных Технологий» (Россия)		Учебное пособие ппи, 2008 104 с.: ил. Учебное пособие по дисциплине... Учебное пособие по дисциплине «Конструкторско-технологическое обеспечение производства эвм» предназначено для студентов Псковского...
	Техническое задание «Установка электронно-лучевого напыления оптических... Несовместимо с оборудованием, на котором используются иные товарные знаки, знаки обслуживания, патенты, полезные модели, промышленные...		Техническое задание на выполнение проектных работ по модернизации... На выполнение проектных работ по модернизации систем оповещения в рамках выполнения опытно-конструкторской работы по созданию опытного...
	Инструкция Оборудование производства «мегалюкс ®» Оборудование производства «мегалюкс®» сертифицировано: Федеральным Государственным Учреждением «Центром Сертификации Аппаратуры Охранной...		Инструкция по эксплуатации Оборудование производства «мегалюкс ®» Оборудование производства «мегалюкс®» сертифицировано: Федеральным Государственным Учреждением «Центром Сертификации Аппаратуры Охранной...
	Инструкция Воронеж 2016г. Оборудование производства «мегалюкс ®» Оборудование производства «мегалюкс®» сертифицировано: Федеральным Государственным Учреждением «Центром Сертификации Аппаратуры Охранной...		Инструкция Воронеж 2016г. Оборудование производства «мегалюкс ®» Оборудование производства «мегалюкс®» сертифицировано: Федеральным Государственным Учреждением «Центром Сертификации Аппаратуры Охранной...
	Инструкция Воронеж 2015г. Оборудование производства «мегалюкс ®» Оборудование производства «мегалюкс®» сертифицировано: Федеральным Государственным Учреждением «Центром Сертификации Аппаратуры Охранной...		«дельта ап 1» Адаптер пультовой Оборудование производства «мегалюкс Оборудование производства «мегалюкс®» сертифицировано: Федеральным Государственным Учреждением «Центром Сертификации Аппаратуры Охранной...
	Инструкция Воронеж 2017г. Оборудование производства «мегалюкс ®» Оборудование производства «мегалюкс®» сертифицировано: Федеральным Государственным Учреждением «Центром Сертификации Аппаратуры Охранной...		Alup, за счет применения ременного привода. Массовое производство... Благодарим Вас за интерес, проявленный к оборудованию авас(Италия ) и немецкого завода-изготовителя alup kompressoren GmbH. Компрессоры...

Похожие: