Спецификация




Скачать 216.37 Kb.
НазваниеСпецификация
ТипДокументы
rykovodstvo.ru > Руководство ремонт > Документы
Приложение №1

к Договору поставки №_______________

от «__» ____________ 201_ г.
СПЕЦИФИКАЦИЯ

Оборудование: EVG620 Установка одностороннего совмещения и экспонирования для подложек размерами до 150 мм
Основные технические характеристики:

  • Режимы экспонирования: жесткий, мягкий, вакуумный контакт, микрозазор

  • Микрозазор 0-300 мкм регулируется программно

  • Толщины подложек 0.1-10 мм

  • Полуавтоматическая загрузка с механическим пресовмещением в держателе

  • Быстрая смена маски и держателя

  • 17" плоский экран

  • Кассета для 5 совмещающих устройств

  • Программное обеспечение для программирования, документирования, диагностики и рабочего процесса на основе MS-Windows®

  • Управление техпроцессом с помощью ПК с поясняющими подсказками

  • Сохранение параметров техпроцесса в файл, неограниченное количество файлов

  • Защита паролем разных уровней доступа (оператор/инженер/наладчик)

  • Распечатка параметров техпроцесса

  • Удаленная диагностика через модем


Комплектация:



Description

Описание

QTY/ pcs

Кол-во, шт.

1

EVG620 Top Side Mask Aligner For wafer size up to 150mm

Установка одностороннего совмещения и экспонирования EVG620 для подложек размерами до 150 мм

1




Software

Программное обеспечение

1




350W-500W Light Source NUV

Источник света мощностью 350-500 Вт

1




  • Lamp house for 350W or 500W Hg lamp

  • Ламповая система для ртутных ламп 350-500Вт







  • For optical sets in NUV range (280-450nm)

  • Для оптических приспособлений в диапазоне ближней УФ области (280-450нм)







  • Optimized parallel light with +/-2% uniformity for 100mm wafer and +/-4% for 150mm wafer

  • Оптимизированная параллельная система света с однородностью +/-2% для пластин 100мм и +/-4% для пластин 150мм







  • Adjustment plate, for UV probes with diameter 44.5 mm and max. height 16 mm

  • Установочная плита, для УФ датчиков диаметром 44,5мм и максимальной высотой 16мм







Optical set for wave length range 350-450nm

Оптическое приспособление для длин волн 350-450 нм

1




  • Suitable for NUV and DUV light sources

  • Предназначена для источников излучения ближней и дальней УФ области







  • 150 mm field lens

  • 150мм полевая линза







  • Dielectric mirror

  • Диэлектрическое зеркало







  • Fly's eye lens

  • Фасеточная линза







Lamp 350W Hg

Ртутная лампа 350 Вт

1




Alignment stage with precision micrometers

Узел совмещения с прецизионными микрометрами

1




  • Alignment in X, Y and Theta with micrometer spindles, motorized Z-axis

  • Совмещение по осям X, Y и Theta при помощи микрометрических шпинделей, моторизованная ось Z







  • Automatic wedge compensation system designed for optimized print gap control

  • Система автоматической клиновой компенсации для регулирования зазора







  • WEC contact force from 0.5 - 40 N adjustable, no shift between mask and wafer

  • Регулируемое контактное усилие 0,5-40Н, без сдвига маски относительно пластины







Top side microscope

Микроскоп на верхней стороне

1




  • Motorized splitfield microscopes for alignment in visible light with high resolution CCD-cameras for top and bottom side

  • Моторизованный микроскоп двойного поля для совмещения в области видимого света с CCD-камерой высокого разрешения







  • Travel range of one top side microscope:

Travel range: X: 30 - 150 mm, Y: -70/+70mm

  • Диапазон перемещений:

X: 30 мм - 150 мм, Y: -70/+70мм







  • Storage of objective positions

  • Память положений микроскопа







  • Digital Zoom software providing 2x and 4x image magnification for fine alignment

  • Программное обеспечение для цифрового увеличения, предоставляющее 2x и 4x увеличение для точного совмещения







  • Objective 10x (3.6x - 20x available)

  • Объектив 10x (доступны объективы 3.6x - 20x)







  • Digital zoom software providing 2x and 4x image magnification for fine alignment with objectives

  • Программное обеспечение для цифрового увеличения, предоставляющее 2x и 4x увеличение для точного совмещения







  • Objective 10x (3.6x - 20x available)

  • Объектив 10x (доступны объективы 3.6x - 20x)







Mask holder 4x4" with loading frame

Держатель маски 4х4"с загрузочной рамкой

1




  • Round opening for exposure of wafers

  • Круглое отверстие для экспонирования пластин







  • Hard coated and lapped surface finish for mask contact area

  • Шлифованная поверхность с твердым покрытием области установки шаблона







  • Bottom loading system with automated vacuum transfer

  • Система загрузки с нижней стороны с автоматическим созданием вакуума







Vacuum Contact Wafer chuck 60x48 мм

Вакуумный держатель пластин 60x48 мм

1




  • For manual wafer loading with pre-alignment aid

  • Для ручной загрузки пластин с устройством пресовмещения







  • Hard coated and lapped surface finish for wafer contact area

  • Шлифованная поверхность с твердым покрытием области установки пластины



















  • Supports proximity, soft-, hard- and vacuum contact exposure

  • Поддерживает экспонирование с мягким, жестким, вакуумным контактом и микрозазором







  • Seal for vacuum contact

  • Уплотнение для вакуумного контакта







Packing - EVG620

Упаковка EVG620

1




Proximity wafer chuck 60x48mm substrates with spacers

Держатель для подложек 60x48мм. с прокладками для экспонирования с микро зазором

1




Spare parts KIT

Комплект запасных частей

1



Приложение №1

к Договору поставки №_______________

от «__» ____________ 201_ г.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
Оборудование: HR600 Hybrid Rework System Универсальная ремонтная станция
Основные технические характеристики:

- размер плат до 390х285 мм

- программируемый термопрофиль для инфракрасной/конвекционной пайки;

- автоматизированная установка компонентов

- автоматизированный демонтаж компонентов

- верхний и нижний нагрев общей мощностью 3200 Вт;

- бесконтактное ИК измерение температуры в рабочей зоне

- требуется подключение сжатого воздуха

- 1 термопара (IR6500-01)

- кронштейн для термопары (0HR640)

- регулируемый размер зоны нагрева

- программное обеспечение

- система охлаждения ПУ

- ч/б камера 1,3 Мпкс для распознавания компонентов

- цветная координатная камера 1,3 Мпкс


Комплектация:




Description

Описание

QTY, pcs/
Кол-во, шт.


1

HR600 Hybrid Rework System

HR600 Универсальная ремонтная станция

1

 

Options:

Дополнительное оборудование:

 

 

0HR620-001 Air Deflector 40*40 mm

0HR620-001 Воздушный дефлектор размером 40*40 мм

1

 

0HR620-002 Air Deflector 30*30 mm

0HR620-002 Воздушный дефлектор размером 30*30 мм

1

 

0HR620-003 Air Deflector 20*20 mm

0HR620-003 Воздушный дефлектор размером 20*20 мм

1

 

0IR4520-02 Suction cup AD 5 mm Silikon

0IR4520-02 Силиконовая присоска диаметр 5 мм.

1

 

3HR600-06-021 Placement nozzle Ø 10 mm

3HR600-06-021 установочный захват Ø 10 мм

1

 

3HR600-06-022 Placement nozzle Ø 4 mm

3HR600-06-022 установочный захват Ø 4 мм

1

 

HR610 Reflow Process Camera camera for HR600

HR610 камера процесса оплавления для ремонтной станции HR600

1

 

0IR4520-01 Suction cup AD 8 mm Silikon

0IR4520-01 Силиконовая присоска диаметр 8 мм.

3

 

0IR4520-02 Suction cup AD 5 mm Silikon

0IR4520-02 Силиконовая присоска диаметр 5 мм.

3

 

0IR4520-04 Suction cup AD 8 mm Viton

0IR4520-04 Присоска из материала витон диаметр 8 мм.

3

 

0IR4520-05 Suction cup AD 5 mm Viton

0IR4520-05 Присоска из материала витон диаметр 5 мм.

3

 

0IR4520-06 Suction cup AD 3.5 mm Viton

0IR4520-06 Присоска из мат-ла витон диаметр 3,5 мм.

3

 

0IR5500-40 MicroPickup Type 0510 lifting of smallest components, rigid outer Ø=1mm,inner Ø=0.5mm, brass

0IR5500-40 Микронасадка Тип 0510 для захвата маленьких компонентов

1

 

0IR5500-41 MicroPickup Type 1020 lifting of small components

0IR5500-41 Микронасадка Тип 1020 для захвата маленьких компонентов

1

 

0IR5500-44 Suction cup adaptor small - for Ø 2 mm + Ø 3.5 mm

0IR5500-44 Адаптер малый для присосок диаметром от 2 до 3,5мм

1

 

0IR5500-45 Suction cup adaptor standart

0IR5500-45 Адаптер стандартный для присосок

1

 

3HR600-06-023 Placement nozzle Ø 1 mm

3HR600-06-023 насадка для размещения компонентов Ø 1 мм

1

 

3HR600-06-025 Placement nozzle Ø 2 mm

3HR600-06-025 насадка для размещения компонентов Ø 2 мм

1

 

3HR600-06-021 Placement nozzle Ø 10 mm

3HR600-06-021 установочный захват Ø 10 мм

0

 

3HR600-06-022 Placement nozzle Ø 4 mm

3HR600-06-022 установочный захват Ø 4 мм

0

 

0HR615 extended free space botom side to 65mm (35mm standard)

0HR615 Увеличение свободного пространства под платой до 65 мм (35 мм в базовой версии)

0

 

0HR625 pcb holder frame for HR600 exchange (350x285mm)

0HR625 Замена рамки держателя платы (размер 350х285 мм)

0

 

0HR635 pcb holder frame XL (535x285mm) for HR600

0HR635 Рамка держателя для больших плат (размер 535х285 мм)

0

 

0PR100 Dip & Print Station inclusive squeegee

0PR100 Трафаретное устройство с ракелем

0

 

Personal computer

Персональный компьютер

1

 

 

в составе:

 

 

 

- системный блок с клавиатурой и мышью; ПО

 

 

 

- монитор;

 



Приложение №1

к Договору поставки №_______________

от «__» ____________ 201_ г.
СПЕЦИФИКАЦИЯ

Оборудование: DWL66

Система безмасковой лазерной литографии

Основные технические характеристики:

Климатическая камера


Скорость ламинарного воздушного потока

 0,3 – 0,5 м/с

Температурная стабильность

 (±1 ˚С снаружи короба) ±0,1 ˚С

Класс чистоты воздуха

10 (если класс чистоты чистого помещения 100)

Освещение

желтый индикатор

Гранитная система на воздушной подушке для устранения вибраций

Опора системы

Алюминиевая, с четырьмя наполненными воздухом амортизаторами, размещенными по системе трех точек

Главный корпус

из гранита с резьбовыми отверстиями для подсоединения других компонентов

Столик Х/У с линейным приводом по обеим осям

Предназначен для закрепления и перемещения подложек при экспонировании

Вакуумные отверстия для удержания подложек (пластин)на поверхности столика

Есть

Верх столика

оборудован открытой рамой

Максимальный размер подложки

9х9 дюймов

Максимальная область для записи

(минимум 5 мм от края подложи) 200х200 мм2


Минимальный размер подложки

10х10 мм2

Толщина подложки

от 0 до 6 мм

Разрешение по позиционированию

10 мм

Оптическая система

Предназначена для экспонирования, совмещения, измерений, контроля положения столика

Модулятор интенсивности для регулирования дозы энергии экспонирования

Есть

Модулятор данных для генерации различных оттенков серого

Есть

Сканирующий отражатель, располагающий луч лазера перпендикулярно подложке

Есть






Пишущие линзы


Определяют разрешение при экспонировании

Установка позволяет осуществлять легкое переключение с одной пишущей линзы на другую с возможностью добавлять другие пишущие линзы

Минимальный размер элемента

1,0 мкм

Разрешающая способность сетки

25 нм

Скорость письма

39 мм2/мин

Неровность края (3σ)

80 нм

Равномерность ширины линии (3σ)

100 нм

Точность совмещения (3σ)

150 нм

Манометрическая система автофокусировки

Поддерживает фокусную точку пишущего луча в стабильном положении на поверхности подложки

Диапазон автофокусировки

80 мкм

Система совмещения по нижней стороне

Совмещает структуры на передней стороне в положении относительно друг друга на обратной стороне подложки

Микрокамера

Есть

Макрокамера

Есть

Система оптической автофокусировки (Optical Autofocus)

Поддерживает фокусную точку пишущего луча в стабильном положении на поверхности подложки

Позволяет установке фокусироваться на подложке размером

от 1 до 225 мм

Электронный блок управления

Компьютер-преобразователь



Есть


Стойка управления системы

 Есть

Стойка управления пошаговым мотором и автофокусом

 Есть

Встроенный сетевой концентратор

 Есть

Стойка акустики-оптики

 Есть

Система распределения электропитания

 Есть

Контроллер линейного двигателя

 Есть

Габаритные размеры (ШxГхВ)

1740 х1215 х 2200 мм

Масса

1000 кг

Электропитание

230 В ±5%, 16 А

Частота переменного тока

50/60Гц

Сжатый воздух должен подаваться под давлением

6 – 10 бар


Комплектация:

Наименование

Количество

Климатическая камера

Гранитная система

Столик Х/У с линейным приводом по обеим осям

Оптическая система

Интерферометрическая система

Диодный лазер

Пишущие линзы

Манометрическая система автофокусировки

Система совмещения по нижней стороне

Система оптической автофокусировки (Optical Autofocus)

Электронный блок управления

Техническая документация

1 шт.



Приложение №1

к Договору поставки №_______________

от «__» ____________ 201_ г.
СПЕЦИФИКАЦИЯ

Оборудование: AP-600

Установка плазменной обработки

Основные технические характеристики:

ВЧ генератор


    Мощность 600 Вт




 0,3 – 0,5 м/с

    Частота




13,56МГц

Система автоматического согласования для обеспечения повторяемости техпроцесса

Есть

Безмасляный вакуумный насос

Производительность

650 л/мин

Вакуумная камера

Изготовлена из алюминия

Возможность регулировки положения внутренних полок для настройки под различные изделия

Есть

Внутренний размер вакуумной камеры (ШхВхГ)

406х267х465 мм

Программное обеспечение

Обеспечивает возможность документирования техпроцесса и всех его параметров для статистического анализа и контроля

Полка-токовый питающий электрод


Рабочая зона электрода с фазовым потенциалом (Ш х Г)

330 х 330 мм

Полка – заземленный электрод

Рабочая зона электрода с фазовым потенциалом (Ш х Г)

368 х 330 мм

Регулятор расхода газа

Объемный расход

50 см3/мин

Регулятор расхода газа

Объемный расход

100 см3/мин

Регулятор расхода газа

Объемный расход

250 см3/мин

Регулятор расхода газа

Объемный расход

500 см3/мин

Габаритные размеры (ШxГхВ)

569х704х869 мм

Масса

138 кг

Электропитание

однофазное, 110-240В перем. тока, 10А

Фитинг для подачи азота или чистого сухого воздуха

0.25", под давлением 0,7-7 Бар

Разъем для подачи рабочих газов (азот, кислород, аргон)

0.25", под давлением 0,7-2,0 Бар


Комплектация:

Наименование

Количество

ВЧ генератор

Безмасляный вакуумный насос

Вакуумная камера

Программное обеспечение

Регулятор расхода газа с объемным расходом 50 см3/мин

Регулятор расхода газа с объемным расходом 100 см3/мин

Регулятор расхода газа с объемным расходом 250 см3/мин

Регулятор расхода газа с объемным расходом 500 см3/мин

Комплект документации на русском языке

1 шт.

Полка-токовый питающий электрод

Полка – заземленный электрод

Полка – нейтральный электрод

2 шт.

Похожие:

Спецификация iconСпецификация

Спецификация iconСпецификация

Спецификация iconСпецификация

Спецификация iconСпецификация медикаменты

Спецификация iconПриложение №1 Спецификация

Спецификация iconСпецификация примененного оборудования Вариант «базовый»

Спецификация iconТехническое задание на закупку электроматериалов Спецификация №1

Спецификация iconТехническое задание на поставку мебели Спецификация

Спецификация iconИнструкция по сборке стола компьютерного «лорд» Спецификация

Спецификация iconТехническое задание на поставку компьютерного оборудования Спецификация Товара

Спецификация iconСпецификация
Описание, количество и требования к характеристикам подлежащего к поставке товара

Спецификация iconСпецификация
Ассистент предотвращения самопроизвольного движения с электромеханическим ручным тормозом

Спецификация iconРуководство программиста
Спецификация Информационного взаимодействия пк «ЦЗ» с аппаратно-программными комплексами

Спецификация iconСпецификация поставки комплекта лабораторного оборудования для печатных плат

Спецификация iconТехническое задание на закупку аквадистилляторов и тэнов Спецификация...

Спецификация iconТехническое задание на закупку медицинского оборудования Спецификация...


Руководство, инструкция по применению






При копировании материала укажите ссылку © 2018
контакты
rykovodstvo.ru
Поиск